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更新時間： 2024-05-14
產(chǎn)品型號： MFC-5Z
產(chǎn)品報價： 
所 在 地： 合肥市新站區(qū)穎河路22號
產(chǎn)品特點： CVD化學(xué)氣相沉積多通道質(zhì)量流量控制系統(tǒng)一款多路質(zhì)量流量計控制系統(tǒng)，化學(xué)氣相沉積設(shè)備質(zhì)量流量計和不銹鋼混氣罐都安裝在一個移動柜里，移動柜Z大可以承重1000Lbs，所以在與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時，可將設(shè)備置于移動柜上以節(jié)約空間。各通道氣路的流量設(shè)定和狀態(tài)顯示都集中在一個7“的觸摸屏上，同時可以實時查看氣體流量曲線和數(shù)據(jù)。此款設(shè)備廣泛的用于材料界中CVD實驗和各種材料的退火實驗。
技術(shù)參數(shù)
| 名稱 | 雙通道 | 三通道 | 四通道 | 五通道 |
| CVD化學(xué)氣相沉積多通道質(zhì)量流量控制系統(tǒng)質(zhì)量流量控制器 | 工作溫度：5~45ºC 重復(fù)精度: ±0.2%F.S. | 工作溫度：5~45 ºC | 工作溫度:5~45 ºC 重復(fù)精度: ±0.2%F.S. | 工作溫度: 5~45 ºC |
| 輸入電源 | AC 220V/50Hz單相 | |||
| 功率 | 23W | |||
| PLC觸摸屏 | · CVD化學(xué)氣相沉積多通道質(zhì)量流量控制系統(tǒng)各通道的氣路設(shè)定和查看都集中在一個7"的觸摸屏上 · RS485 通訊接口和PC控溫軟件可以連接到電腦上，進行遠程控制 | |||
| 機械壓力表 | · 有一機械壓力表安裝于前面板上，與混氣罐相連接 · 量程:-0.1~0.15 MPa | |||
| 針閥 | 316 不銹鋼 | |||
| 通氣管道 | · 內(nèi)部連接管道為Φ不銹鋼管 · 外部通氣管道為Φ聚四氟管 | |||
| 混氣罐 | Φ80X120mm | |||
| 截止閥及配件 | ·316不銹鋼針閥 Φ6mm 不銹鋼管 | |||
| 外形尺寸 | 600mm(L)x745mm(W)x700mm(H) | |||
| 質(zhì)量認證 | CE認證 | |||
| 質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期，終身維護 | |||
地址：合肥市新站區(qū)穎河路22號
手機： 15395144171
郵箱：hfcpi123@126.com
